[电子书]模块三　扩散制结

3.1　扩散制结原理

3.1.1　掺杂与p-n结的形成

3.1.2　扩散的基本原理

3.1.3　扩散的方式

3.2　扩散制结工艺流程

3.2.1　企业扩散制结工艺流程

3.2.2　扩散制结影响因素分析

3.2.3　扩散后检测

3.3　扩散制结操作与监控

3.3.1　扩散制结工艺步骤

3.3.2　扩散设备

3.3.3　扩散车间生产作业规范

3.3.4　不良片与返工作业

习　题